29.09.2025
Специалисты АО «ЭЗАН» приняли участие в научной и деловой программе Российского Форума Микроэлектроника 2025,
состоявшимся 21–27 сентября 2025 г. в Университете «Сириус»
СЕКЦИЯ №9: Специальное технологическое оборудование
1. Доклад: «Тенденции развития оборудования для выращивания монокристаллов карбида кремния»
Докладчик: чл.-корр. РАН, д.т.н. Бородин Владимир Алексеевич
2. Доклад: «Отечественная система автоматизации технологического процесса установки эпитаксии карбида кремния на подложках диаметром до 150 мм методом химического газофазного осаждения (CVD)»
Докладчик: Барков Валерий Николаевич
СЕКЦИЯ №3: Информационно-управляющие и радиотехнические системы
4. Доклад: «Средства промышленной автоматизации АО «ЭЗАН». SCADA система «Соната»»
Докладчик: Лущевский Степан Степанович
Стендовый доклад:
5. Разработка отечественного оборудования и технологии выращивания монокристаллов SIC диаметром 150 мм.
Докладчик: Оганесян Валерий Арменович
***
Турнир по пинг-понгу
Смирнов Кирилл Николаевич стал безоговорочным победителем в состоявшемся в рамках Форума турнире по пинг-понгу.